本文標(biāo)題："圖像與樣品SEM中的透鏡放大圖像而是用來(lái)會(huì)聚電子束"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類(lèi): 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------
人瀏覽過(guò)-----時(shí)間：2014-6-24 17:15:52
圖像與樣品SEM中的透鏡放大圖像而是用來(lái)會(huì)聚電子束
在SEM中電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，并采用陰極射線(xiàn)管電子束和入射電
子束同步掃描模式收集各個(gè)點(diǎn)的信號(hào)，在顯示器上組成圖像。因此顯示的圖像是
入射電子束掃過(guò)樣品時(shí)所檢測(cè)到的信號(hào)強(qiáng)度的變化。SEM的最終性能受電子束
直徑的限制。SEM中的透鏡不是用來(lái)放大圖像而是用來(lái)會(huì)聚電子束。會(huì)聚透鏡
將電子束直徑從50μm聚合到約5nm.調(diào)節(jié)會(huì)聚透鏡使電子束以最小直徑照射樣
品，便可使圖像聚焦。放大倍率是通過(guò)顯示圖像與樣品被掃描區(qū)域間的簡(jiǎn)單關(guān)
系計(jì)算得到的。
當(dāng)入射電子束撞擊樣品表面弱束縛的傳導(dǎo)電子時(shí)，產(chǎn)生二次電子。由于
二次電子能量較低(<50eV)，僅僅距表面約10nm內(nèi)的二次電子能夠逃離樣品表面
檢測(cè)信號(hào)強(qiáng)度依賴(lài)入射電子束和樣品的夾角。這兩個(gè)因素意味著二
次電子信號(hào)能夠提供最高分辨率的形貌信息。
與之不同的是背散射信號(hào)是由彈性散射電子產(chǎn)生的.彈性散射電子是由樣品
原子核在0°-180°范圍內(nèi)反射回來(lái)的入射電子。其中散射角大于90°的電子仍然
具有高能量，能夠重新從樣品逸出。在相同的操作條件下，該信號(hào)比二次電子來(lái)
自更大的樣品體積，因此提供的表面形貌信息分辨率低于二次電子。不過(guò)，對(duì)于
原子量大的原子散射悄況更容易發(fā)生(或入射電子能量低)，因此通過(guò)背散射信
號(hào)能夠?yàn)榉蔷鄻悠范ㄐ缘靥峁┙M成信息。
后一篇文章：SEM電子顯微鏡測(cè)試樣品-放大倍率和圖像分辨率 »
前一篇文章：« 陶瓷膠體粒子顆粒樣品-圖像分析金相軟件
tags:技術(shù),光學(xué),金相顯微鏡,上海精密儀器,
圖像與樣品SEM中的透鏡放大圖像而是用來(lái)會(huì)聚電子束,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
本頁(yè)地址：/gxnews/1709.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/