本文標題："顯微鏡測量覆層厚度-光學(xué)儀器測量覆層顯微鏡"
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顯微鏡測量覆層厚度-光學(xué)儀器測量覆層顯微鏡
(1)放大倍數(shù)在任何給定覆層厚度情況下，測量誤差隨
鏡頭放大倍數(shù)的減小而增大，通常選擇顯微鏡的放大倍數(shù)應(yīng)使視
場直徑是覆層厚度的1.5一3倍，并要求與在整個視場中的放大倩
數(shù)一致。在通過光電轉(zhuǎn)換和放大的光學(xué)儀器中，放大倍數(shù)的穩(wěn)定是
十分重要的，電子電路不穩(wěn)定將會產(chǎn)生很大的誤差。對此，一般。
疵增加校正次數(shù)，而且測量操作應(yīng)在校正后的短暫時問內(nèi)進行。
(2)載物臺測微器的校正 載物臺測微器必須經(jīng)過檢定單
位嚴格校正，否則將會造成誤差。
(3)目鏡測微器的校正 目鏡測微器應(yīng)經(jīng)過嚴格校正，否
則也會帶來誤差，且目鏡測微器產(chǎn)生誤差還與操作人員有關(guān)，通
常目鏡測微器由測量人員自己進行校正。
(4)間隙校正在調(diào)整目鏡測微器時，由于測微器傳動閫．
隙的存在，測微器正反向旋轉(zhuǎn)讀數(shù)可能不一樣而產(chǎn)生誤差，對此．
應(yīng)以同一方向旋轉(zhuǎn)進行分度對準以減少誤差．
(5)分劃板十字線的對準 在利用光學(xué)儀器測量覆層厚度
時，一般用目鏡分劃板十字線的一側(cè)和覆縣兩邊界對準，這樣可
以減小由于十字線對不準所產(chǎn)生的誤差。
(6)目鏡位置 目鏡每次置于鏡筒內(nèi)位置不同，即置入深“
度變化，則有可能導(dǎo)致放大倍數(shù)的變化。若測量和校準儀器目鐃
位置不同，顯然會導(dǎo)致誤差。在雙筒目鏡情況下，如果兩眼瞳孔
(7)記錄圖紙穩(wěn)定性 隨著環(huán)境溫度和濕度的變化，記錄
圖紙會發(fā)生變形，記錄圖形位置也會有所變化，若利用該種匝
紙、圖形來確定覆層厚度，也將會帶來誤差。
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