本文標題："材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分"
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材料表面氧化膜-合金表面最先形成的氧化物的成分
表面分析技術
在很多情況下，我們感興趣的是材料表面非常薄的氧化膜，例如合
金表面最先形成的氧化物的成分，一組具有高度表面靈敏性的技術可用
來進行這方面的檢測，Grabke等人對這些技術在氧化行為分析方面的應
用做了非常好的評述。
應用最廣泛的是俄歇電子譜(AES)，由于俄歇電子的激發(fā)是電子能
級之間轉(zhuǎn)變的結果，因此它們的能量具有元素特征，除H和He之外的所
有元素都能被檢測
淺的地方逸出，所以具有表面靈敏性。俄歇譜可用標準值和發(fā)表過
的校正因子進行定量，。因此與掃描電子形貌對應的X射線圖類似，如
果用人射光束掃過樣品表面，就能作出成分分布圖。現(xiàn)代儀器中入射電
子束能聚焦到使橫向空間分辨率達到約50 nm。
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